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第3134章 全球spie微光刻会议(第1页)

在赵长安看来,要说这些世界一流的企业里面,没有一点明白人,那是根本就不可能的事情,而是这些明白人根本就没有足够的话语权。

更重要的是sony,Panasonic,aiwa这些企业在个人便携式音乐播放器市场,尤其是中高端市场,以及形成了世界性的垄断地位,手握着大量的技术专利实体工厂,以及多年以来持续性的方向研究和数以亿美元计数的投资资金。

假如选择进入mp3市场,就等于一夜之间他们大量的工厂,数以万计的员工,以及积累了几十年的大量专利,几乎全部被清零。

这种等于壮士断腕的事情,基本上正常人都很难轻易的做到。

只有到了未来,随着mp3制式在世界音乐播放器市场形成不可阻挡的趋势和洪流,这些老大帝国的企业才会不得不痛苦的在现实面前低头。

这种情况用在目前新一代光刻机的研发上面也是如此,现在世界光刻机巨头是Nikon和Canon,都依然在豪赌步进式光刻机。

而新进的造机新势力ASML,更是在老美的牵头下,发誓要在新一代的光刻机领域,打破Nikon和Canon的技术和市场垄断,让欧美人也拥有世界最高科技前沿的光刻机企业。

目前Nikon和Canon,在157nm深紫外激光波(DUV)步进式光刻机的研发上面,已经投入了几十亿美元,虽然处于世界领先地位,不过157nm的光会被现在所用的193nm镜片吸收,穿透率低,无论是镜片还是光刻胶都需要重新的研发配适,同时氧气对157nm光波吸收性很强,——这么一大堆的问题,都是目前世界上这几家(DUV)步进式光刻机在研发下一代光刻里面遇到的难题需要客服。

而且即使能够实现良品率的量产,157nm的DUV也只能把解析度提高23%,而对于之后的下一代光刻机,这似乎已经成了走到科技树极限的死胡同。

只不过因为前面天量的投资,使得Nikon和Canon明知道157nm的DUV很有可能已经做到了这一方向的制程极限,然而那句话‘超前一步是天才,超前几步是疯子’的箴言,他们显然都很信奉,却依然在拼命的豪赌。

原因很简单,只有这么做他们才能依然保持着行业垄断,同时收回前期投入的几十亿美元的资金。

这个情况就像现在的个人便携式音乐播放器市场,他们不是不明白新技术的优势和代表着产品的未来方向。

而是不愿意新技术现在就在市场上蚕食他们的份额,更不愿意一切重来的推倒炉灶。

而且即使在研发157nm的DUV光刻机的时候,这两家公司也在多电子束,离子流技术,甚至浸没式光刻技术光刻技术,等等研发领域悄悄的组建了研究机构,并且大量的提前申请布局专利壁垒。

就比如在三年前的99年3月16日,Nikon公司就向专利局提交了浸没式光刻技术专利申请,专利名称是“Projectionexposuremethodandsystem”

该PCT国际公开日是99年9月30日,国际公开号:WO99。

可以说是相当的鸡贼。

包括和ASML合作的麻省理工学院(MIT)林肯实验室,也在157nmDUV上努力的给ASML助力。

不过他们研究的方向有别于Nikon和Canon在纯氮气中进行157nm光波雕刻,而是选择了离子水(纯化水)状态下的157nm浸没实验。

这个实验大致和Nikon的浸没式光刻技术专利差不多,都是研究在纯净水状态下157nmDUV的雕刻性能。

就在几天前的全球SPIE微光刻会议上,MIT做出研发报告157nm浸没实验的结果。

“在去离子水(纯化水)状态下的浸没实验,157nmDUV依然有着在纯氮环境下的诸多问题无法解决。

然而对于193nm的曝光是足够透明的,在193nm浸没的情况下157nm问题常见的普遍困难都不存在,几乎等同于现今处于干式介质中193nm步进式光刻机效果。”

MIT的这份报告,让现场与会的全球微影领域的顶尖大拿们纷纷失望不已,也就是在这个报告出来了以后,这几天世界微光刻领域对浸没式光刻技术纷纷发表了类似于‘至少现今技术还不成熟’的观点。

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